工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)是用于半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中關(guān)鍵設(shè)備的 間接冷卻裝置。分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng),本篇就工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成、工作原理、系統(tǒng)特點(diǎn)及系統(tǒng)模式選擇等內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)介紹。
工藝?yán)鋮s水的應(yīng)用范圍非常廣泛，涉及到工業(yè)生產(chǎn)中的各方面，包括半導(dǎo)體、微電子、工業(yè)制冷機(jī)、火電廠中汽輪機(jī)排氣冷凝、大型中央空 調(diào)、煤化工、石化廠、天然氣管道降溫等場(chǎng)所均有大量的工藝?yán)鋮s水使用。在許多產(chǎn)品或工藝生產(chǎn)環(huán)境都要求配備潔凈廠房，車間全年要求溫度和相對(duì)濕度保持在一定范圍，其中一些生產(chǎn)過(guò)程發(fā)熱量大，工藝設(shè) 備需要低溫水冷卻降溫，甚至在冬季仍然需要空調(diào)供冷，為了滿足這些要求，必須建造工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)，工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)分為開式系統(tǒng)和閉式 系統(tǒng)兩類。
1、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成及工作原理
工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)由以下幾部分組成：冷水機(jī)組、泵、熱交換器、水箱、過(guò)濾器、工藝設(shè)備。如圖1所示。
冷水機(jī)組：給冷卻水系統(tǒng)提供冷源。
水泵：對(duì)水加壓，保證其在冷卻系統(tǒng)中循環(huán)流動(dòng)。
熱交換器：利用此設(shè)備使冷凍水系統(tǒng)與冷卻水系統(tǒng)產(chǎn)生熱交換，以將此系統(tǒng)負(fù)載端產(chǎn)生的熱量傳送給冷凍水系統(tǒng)。熱交換器種類繁多，按其形式可分管殼式、板式、板翅式、熱管式等。相比較而言，板式熱交換 器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點(diǎn)，考慮到半導(dǎo)體廠房空間面積造價(jià)特點(diǎn)，優(yōu)選占地面積小的設(shè)備，節(jié)約用地面積，節(jié)省了工程造價(jià)。
水箱：開式系統(tǒng)中水箱主要起到補(bǔ)充水源作用。閉式系統(tǒng)中水箱需要選擇膨脹水箱，膨脹水箱有三個(gè)作用，一是收容和補(bǔ)償系統(tǒng)中水的脹縮量；二是向密閉式循環(huán)水系統(tǒng)提 供穩(wěn)定的壓力，起到系統(tǒng)穩(wěn)壓的作用；三是作為系統(tǒng)補(bǔ)水泵的指示，通常由膨脹水箱發(fā)出信號(hào)啟動(dòng)或關(guān)閉系統(tǒng)補(bǔ)水泵。
過(guò)濾器：過(guò)濾掉水中的固體顆粒雜質(zhì)，凈化水源。
工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)中有冷凍水和冷卻水這兩個(gè)相對(duì)獨(dú)立的系統(tǒng)，冷凍水由冷水機(jī)組提供，冷凍水與冷卻水進(jìn)行熱交換，使冷卻水降溫從而降低設(shè)備的溫度。從生產(chǎn)設(shè)備抽水經(jīng) 水泵至熱交換器通過(guò)控制冷凍水的量來(lái)保證工藝?yán)鋮s水的水溫，通過(guò)過(guò)濾器后送至生產(chǎn)線設(shè)備，再回到水泵。構(gòu)成工藝?yán)鋮s水反復(fù)循環(huán)。冷凍水則直接回冷水機(jī)組。
1.1風(fēng)冷與水冷冷水機(jī)組比較
風(fēng)冷冷水機(jī)組是以空氣為冷（熱）介質(zhì)，作為冷（熱）源兼用型的一體化設(shè)備。如圖2所示。機(jī)組以其高效、低噪音、結(jié)構(gòu)合理、操作簡(jiǎn)便、運(yùn)行安全、安裝維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。
風(fēng)冷模塊機(jī)組省去了冷凍水系統(tǒng)所必不可少的冷卻塔、水泵、鍋爐及相應(yīng)的管道系統(tǒng)等許多輔件，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝空間省、維護(hù)管理方便且又節(jié)約能源。另外，冷凍水不暴露于空氣中，水的損耗很少，因此可以使用純水，避免了水質(zhì)過(guò)差的地區(qū)所造成 的冷凝器結(jié)垢，水管堵塞等現(xiàn)象，同時(shí)還節(jié)約了水資源。水冷冷水機(jī)組是靠水循環(huán)來(lái)達(dá)到冷凝效果，然后靠水循環(huán)來(lái)帶走一定的熱量 。
工藝?yán)鋮s水的冷水設(shè)備；通常主要有“水冷螺桿機(jī)組”“水冷離心機(jī)組”兩種。如圖3所示。水的再冷卻是通過(guò)冷卻塔來(lái)進(jìn)行的，因此冷凍水在循環(huán)過(guò)程 中要與空氣接觸，部分水在通過(guò)冷卻塔時(shí)還會(huì)不斷被蒸發(fā)損失掉，因而水中各種礦物質(zhì)和離子含量也不斷被濃縮增加。為了維持各種礦物質(zhì)和 離子含量穩(wěn)定在某一個(gè)定值上，必須對(duì)系統(tǒng)補(bǔ)充一定量的冷卻水，通常稱作補(bǔ)充水，并排出一定量的濃縮水，維持一定的電導(dǎo)率，一般通稱冷卻塔排污。
1.2冷水機(jī)組基本組成
冷水機(jī)組主要構(gòu)成部分有：壓縮機(jī)、蒸發(fā)器、冷凝器、熱力膨脹閥四大部件。
壓縮機(jī)：壓縮機(jī)是整個(gè)制冷系統(tǒng)中的核心部件，也是制冷劑壓縮的動(dòng)力之源。它的作用是將輸入的電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，將制冷劑壓縮。
蒸發(fā)器：蒸發(fā)器是依靠制冷劑液體的蒸發(fā)（實(shí)際上是沸騰）來(lái)吸收被冷卻介質(zhì)熱量的換熱設(shè)備。它在制冷系統(tǒng)中的功能是吸收熱量（或稱 輸出冷量）。為了保證蒸發(fā)過(guò)程能穩(wěn)定持久的進(jìn)行，必須不斷的用制冷壓縮機(jī)將蒸發(fā)的氣體抽走，以保持一定的蒸發(fā)壓力。
冷凝器：在制冷過(guò)程中冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。從制冷壓縮機(jī)排出的高壓過(guò)熱蒸氣進(jìn)入冷凝器后，將其在工作過(guò)程吸收的全部熱量，其中包括從蒸發(fā)器和制冷壓縮機(jī)中以及在管道內(nèi)所吸收的熱量都傳遞給周圍介質(zhì)（水或空氣）帶走；制冷劑高壓過(guò)熱 蒸氣重新凝結(jié)成液體。（根據(jù)冷卻介質(zhì)和冷卻方式的不同，冷凝器可分為三類：水冷式冷凝器、風(fēng)冷式冷凝器、蒸發(fā)式冷凝器。）
熱力膨脹閥：熱力膨脹閥在制冷系統(tǒng)中既是流量的調(diào)節(jié)閥，又是制冷設(shè)備中的節(jié)流閥，它在制冷設(shè)備中安裝在干燥過(guò)濾器和蒸發(fā)器之間。如圖2所示。機(jī)組以其高效、低噪音、結(jié)構(gòu)合理、操作簡(jiǎn)便、運(yùn)行安全、安裝維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。
風(fēng)冷模塊機(jī)組省去了冷凍水系統(tǒng)所必不可少的冷卻塔、水泵、鍋爐及相應(yīng)的管道系統(tǒng)等許多輔件，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝空間省、維護(hù)管理方便且又節(jié)約能源。另外，冷凍水不暴露于空氣中，水的損耗很少，因此可以使用純水，避免了水質(zhì)過(guò)差的地區(qū)所造成的冷凝器結(jié)垢，水管堵塞等現(xiàn)象，同時(shí)還節(jié)約了水資源。
水冷冷水機(jī)組是靠水循環(huán)來(lái)達(dá)到冷凝效果，然后靠水循環(huán)來(lái)帶走一定的熱量的冷水設(shè)備；通常有“水冷螺桿機(jī)組”“水冷渦旋機(jī)組”。如 圖3所示。水的再冷卻是通過(guò)冷卻塔來(lái)進(jìn)行的，因此冷凍水在循環(huán)過(guò)程中要與空氣接觸，部分水在通過(guò)冷卻塔時(shí)還會(huì)不斷被蒸發(fā)損失掉，因而 水中各種礦物質(zhì)和離子含量也不斷被濃縮增加，最終導(dǎo)致結(jié)垢，為了維持各種礦物質(zhì)和離子含量穩(wěn)定在某一個(gè)定值上，必須對(duì)系統(tǒng)補(bǔ)充一定量的冷卻水，通常稱作補(bǔ)充水，并排出一定量的 濃縮水，通稱排污水。
1.2冷水機(jī)組基本組成
冷水機(jī)組主要構(gòu)成部分有：壓縮機(jī)、蒸發(fā)器、冷凝器、熱力膨脹 閥
壓縮機(jī)：壓縮機(jī)是整個(gè)制冷系統(tǒng)中的核心部件，也是制冷劑壓縮的動(dòng)力之源。它的作用是將輸入的電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，將制冷劑壓縮。蒸發(fā)器：蒸發(fā)器是依靠制冷劑液體的 蒸發(fā)（實(shí)際上是沸騰）來(lái)吸收 被冷卻介質(zhì)熱量的換熱設(shè)備。它在制冷系統(tǒng)中的功能是吸收熱量（或稱輸出冷量）。為了保證蒸發(fā)過(guò)程能穩(wěn)定持久的進(jìn)行，必須不斷的用制冷壓縮機(jī)將蒸發(fā)的氣體抽走，以 保持一定的蒸發(fā)壓力。
冷凝器：在制冷過(guò)程中冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。從制冷壓縮機(jī)排出的高壓過(guò)熱蒸氣進(jìn)入冷凝器后，將其在工作過(guò)程吸收的全部熱量，其中包括從蒸 發(fā)器和制冷壓縮機(jī)中以及在管道內(nèi)所吸收的熱量都傳遞給周圍介質(zhì)（水或空氣）帶走；制冷劑高壓過(guò)熱蒸氣重新凝結(jié)成液體。（根據(jù)冷卻介質(zhì)和冷卻方式的不同，冷凝器可分為三類：水冷式冷凝器、風(fēng)冷式冷凝器、蒸發(fā)式冷凝器。）
熱力膨脹閥：熱力膨脹閥在制冷系統(tǒng)中既是流量的調(diào)節(jié)閥，又是制冷設(shè)備中的節(jié)流閥，它在制冷設(shè)備中安裝在干燥過(guò)濾器和蒸發(fā)器之間，它的感溫包是包扎在蒸發(fā)器的出口 處。其主要作用是使高壓常溫的制冷劑液體在流經(jīng)熱力膨脹閥時(shí)節(jié)流降壓，變?yōu)榈蜏氐蛪褐评鋭裾魵猓ù蟛糠质且后w，小部分是蒸汽）進(jìn)入蒸發(fā)器，在蒸發(fā)器內(nèi)汽化吸熱而達(dá)到制冷降溫的目的。
2、開式與閉式系統(tǒng)特點(diǎn)比較
冷卻水系統(tǒng)分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)兩種，閉式系統(tǒng)主要由水泵、 板換、工藝設(shè)備、管網(wǎng)和定壓設(shè)備組成，開式系統(tǒng)主要由水箱、水泵、板換、工藝設(shè)備和管網(wǎng)組成。
開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)相同點(diǎn)：①均為間接傳熱；
②工藝設(shè)備對(duì)水質(zhì)要求比較高，故系統(tǒng)補(bǔ)水均需軟化水補(bǔ)水（可以采用純水站二級(jí)反滲透 水作為系統(tǒng)補(bǔ)水，不需要再增加水處理裝置）；
③系統(tǒng)冷媒均為冷凍機(jī) 冷卻水。
開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)不同點(diǎn)：
①開式系統(tǒng)冷卻水在水箱處和大氣局部有接觸；
② 開式系統(tǒng)無(wú)法利用系統(tǒng)回水壓力，不節(jié)能。
3、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)模式的選擇
工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的模式分為開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)，在設(shè)計(jì)過(guò)程中如何選擇開式系統(tǒng)和閉式系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)以下幾種情況進(jìn)行選擇：
①當(dāng)工藝設(shè)備最高處距離水泵板換設(shè)備高差比較大時(shí)（高差超過(guò)10m）， 建議采用閉式系統(tǒng)，這樣可以充分利用設(shè)備余壓及靜揚(yáng)程；
②當(dāng)工藝設(shè)備供水壓力要求很高但設(shè)備壓差不大時(shí)，建議采用閉式系統(tǒng)，這樣可以利用管網(wǎng)余壓減小水泵揚(yáng)程，起到節(jié)能作用；
③當(dāng)廠房工藝設(shè)備分期分批投產(chǎn)或設(shè)備更新調(diào)整比較頻繁時(shí)，考慮到系統(tǒng)可調(diào)試性，建議采用開式系統(tǒng)，可以加快系統(tǒng)調(diào)試運(yùn)行，同時(shí)系統(tǒng)由于增加了水箱，系統(tǒng)保有水量增加，冷源中斷時(shí)，具備一定事故緩沖能力。
④從節(jié)能角度考慮，采用閉式系統(tǒng)，可 以大大減小工藝?yán)鋮s水供水循環(huán)泵的揚(yáng)程，一方面可以節(jié)約初投資，另一方面可以節(jié)約能源，減小運(yùn)行費(fèi)用。
⑤當(dāng)設(shè)備冷卻水溫度在最熱天能用冷卻塔直接降溫或業(yè)主要求投資少時(shí)，可以采用開式系統(tǒng)。當(dāng)設(shè)備冷卻水進(jìn)水溫度采用開式冷卻塔無(wú)法滿足時(shí)采用閉式系統(tǒng)，利用冷凍水作為冷媒。
4、建議
工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)在半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中應(yīng)用非常廣泛，為了在提高系統(tǒng)工程的穩(wěn)定性、降低工程成本以及節(jié)能等方面取得良好效益，在系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)過(guò)程中根據(jù)實(shí)際使用情況選擇理想的運(yùn)行模式顯得非常重要。本篇簡(jiǎn)單介紹了工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)組成、工作原理、系統(tǒng)特點(diǎn)及系統(tǒng)模式選擇等內(nèi)容，僅供各位廠務(wù)同仁在設(shè)計(jì) 工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)時(shí)參考。 來(lái)源：商業(yè)新知
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